發(fā)布時(shí)間：2019-08-29
CF真空法蘭固然好用可安裝時(shí)也是需要注意的
CF真空法蘭 是一種用于超高真空中的法蘭連接，是一種金屬靜密封，可以承受高溫烘烤。CF真空法蘭的內(nèi)側(cè)有凸起的鋒利刀口，通過擠壓無氧銅墊圈(或其他軟金屬)使其變形而達(dá)到密封真空的目的，是全金屬材料的密封方式，被廣泛應(yīng)用于超高真空系統(tǒng)中。CF真空法蘭 也常用ICF法蘭來表示，CF后面的數(shù)字是標(biāo)準(zhǔn)的導(dǎo)管內(nèi)徑，而ICF后面的數(shù)字是法蘭的外徑。
CF真空法蘭分為固定型和松套型兩種。固定型法蘭為一體化結(jié)構(gòu)。松套型法蘭由擠壓銅墊圈的刀口部分和通過螺栓的固定部分構(gòu)成。法蘭上可開通孔或螺紋孔。開有通孔的法蘭要通過螺栓和螺母固定;開有螺紋孔的法蘭可直接使用螺栓固定。
CF真空法蘭使用時(shí)有幾個(gè)注意點(diǎn)：螺栓一定要涂抹 MoS2，以免螺栓和螺母咬合卡死;法蘭外周要對齊;法蘭面要保持一點(diǎn)距離，為烘烤后繼續(xù)上緊螺栓留出余地。CF真空法蘭中，刀口要切入金屬密封圈來實(shí)現(xiàn)真空密封。長期使用，刀口會(huì)逐漸變鈍。另外，受硬器碰撞后刀口容易受傷。這時(shí)的補(bǔ)救措施之一，是使用IPD金屬密封圈。IPD金屬密封圈不依靠法蘭的刀口，而依靠刀口外周的斜面來密封。
